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 掃描電子顯微鏡觀測電疇是通過對樣品表面預(yù)先進行化學腐蝕來實現(xiàn)的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區(qū)域從而可在顯微鏡中進行觀察。因此，可以將樣品表面預(yù)先進行化學腐蝕后，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來判斷不同取向的電疇結(jié)構(gòu)。

由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數(shù)范圍寬和景深大等特點，當陶瓷材料處于不同的外部條件和化學環(huán)境時，掃描電子顯微鏡在其微觀結(jié)構(gòu)分析研究方面同樣顯示出極大的優(yōu)勢。

掃描電子顯微鏡主要表現(xiàn)為：

⑴力學加載下的微觀動態(tài) （裂紋擴展）研究 ；

⑵加熱條件下的晶體合成、氣化、聚合反應(yīng)等研究 ；

⑶晶體生長機理、生長臺階、缺陷與位錯的研究；

⑷成分的非均勻性、殼芯結(jié)構(gòu)、包裹結(jié)構(gòu)的研究；

    ⑸晶粒相成分在化學環(huán)境下差異性的研究等。