全自動(dòng)掃描電鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)是一種融合了電子光學(xué)技術(shù)與自動(dòng)化控制系統(tǒng)的微觀分析設(shè)備。它通過(guò)電子束掃描樣品表面，以高放大倍數(shù)和高精度觀察樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)，為材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域的研究提供了強(qiáng)有力的支持。
全自動(dòng)掃描電鏡基本原理與結(jié)構(gòu)組成：
1.電子槍?zhuān)喝詣?dòng)掃描電鏡的電子槍是產(chǎn)生電子束的源頭，常見(jiàn)的有鎢絲槍、場(chǎng)發(fā)射槍(FEG)等類(lèi)型。場(chǎng)發(fā)射槍具有更高的亮度和更小的電子源尺寸，能夠提供更高分辨率的圖像，但成本也相對(duì)較高；鎢絲槍則具有成本較低、維護(hù)相對(duì)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，適用于一些對(duì)分辨率要求不高的常規(guī)檢測(cè)場(chǎng)景。
2.電磁透鏡：用于聚焦電子束，使其在樣品表面形成微小的光斑，實(shí)現(xiàn)高分辨率成像。通過(guò)準(zhǔn)確控制電磁透鏡的電流，可以調(diào)節(jié)電子束的焦距和束斑大小，從而適應(yīng)不同放大倍數(shù)和樣品特性的觀察需求。
3.掃描系統(tǒng)：由掃描線圈和相關(guān)的驅(qū)動(dòng)電路組成，能夠使電子束在樣品表面按照預(yù)定的軌跡進(jìn)行掃描，通常采用光柵掃描方式，即電子束在水平和垂直方向上依次偏轉(zhuǎn)，對(duì)樣品進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，以獲取完整的圖像信息。
4.探測(cè)器：主要包括二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器等。二次電子探測(cè)器用于收集樣品表面激發(fā)出的二次電子，這些二次電子對(duì)樣品表面的形貌變化非常敏感，能夠提供高分辨率的形貌圖像；背散射電子探測(cè)器則收集背散射電子，由于背散射電子的能量和產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)密切相關(guān)，因此可以用來(lái)分析樣品的成分和晶體取向等信息。
5.自動(dòng)化控制系統(tǒng)：這是全自動(dòng)掃描電鏡的核心部分，它能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)電子槍、電磁透鏡、掃描系統(tǒng)、探測(cè)器等各個(gè)部件的準(zhǔn)確控制和協(xié)調(diào)工作。通過(guò)預(yù)設(shè)的程序和參數(shù)，自動(dòng)化控制系統(tǒng)可以自動(dòng)完成樣品的加載、定位、聚焦、成像以及數(shù)據(jù)采集和處理等一系列操作，大大提高了檢測(cè)效率和準(zhǔn)確性，并減少了人為因素對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響。
